Novellus Systems在SEMICON Japan上宣布,目前已有數(shù)家公司通過(guò)認(rèn)證,將作為Novellus合作伙伴支持二手設(shè)備業(yè)務(wù)。公司另外表示,自2005年開(kāi)始投入二手設(shè)備業(yè)務(wù)以來(lái),公司客戶新增了約30家,其中多數(shù)來(lái)自日本。
通過(guò)Novellus資格驗(yàn)證的合作伙伴遍及亞洲歐洲及北美地區(qū),在亞洲擁有有日本Kotec、臺(tái)灣Fairtech、韓國(guó)Maestech,歐洲及北美地區(qū)有Entrepix Inc,Technical Solutions (STS),Surplus Process Equipment Corp. (SPEC),Concept Systems Manufacturing以及Provano Engineering。
“novellus正在對(duì)2.2電介質(zhì)絕緣體進(jìn)行套期保值,這對(duì)于0.10微米技術(shù)節(jié)點(diǎn)來(lái)說(shuō)是必需的,”位于圣何塞的Novellus集成和高級(jí)沉積執(zhí)行副總裁Wilbert van den Hoek解釋道。周三在慕尼黑貿(mào)易展上接受采訪。 “但是,我們認(rèn)為在0.18至0.13微米工藝節(jié)點(diǎn)中不需要這種能力,我認(rèn)為CVD氧化硅碳化物薄膜仍然受到業(yè)界80%的青睞。”
當(dāng)目前最尖端的技術(shù)都聚焦在300-mm晶圓制造時(shí),更低成本的200-mm晶圓制造設(shè)備(一般是大于0.18um技術(shù)標(biāo)準(zhǔn))仍然在亞洲的幾個(gè)地區(qū)特別是中國(guó)繼續(xù)擴(kuò)張發(fā)展。來(lái)自市場(chǎng)研究公司Gartner Dataquest 的報(bào)告表明,自1997年以來(lái),200-mm晶圓制造已獲近48%的增長(zhǎng),并且多數(shù)發(fā)生在亞洲。同期, 全球范圍內(nèi)30家新增的300-mm制造廠也已經(jīng)開(kāi)始了量產(chǎn) *。這種雙重趨勢(shì)衍生了對(duì)多技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境下有成本競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的設(shè)備的同步需求。正是看到了客戶的需求和反饋,諾發(fā)公司的產(chǎn)品線將涵蓋翻新設(shè)備,以滿足客戶對(duì)成本更低的200-mm設(shè)備的需求,進(jìn)一步完善現(xiàn)有的用于200-mm和300-mm制造廠的高端產(chǎn)品系列。